杭州嘉悦智能设备有限公司
已认?/p>
YCVD-1706系统由高温管式炉,高真空扩散?分子泵系统,多通道高精度数字质量流量控制系统,自动压强控制系统等组成。可实现本底真空?.001?.0001Pa混合气体化学气相沉积和扩散试? 适用于真空镀膜、纳米薄膜材料制备、纳米线生长等场所、/span>
主要功能和特点:
1?span style="font-stretch: normal;font-size: 9px;line-height: normal;font-family: 'Times New Roman'">真空系统可根据使用要求选择我司扩散泵机组或分子泵机组;
2?span style="font-stretch: normal;font-size: 9px;line-height: normal;font-family: 'Times New Roman'">可配合压强控制仪控制气体压力实现负压的精准控制;
3?span style="font-stretch: normal;font-size: 9px;line-height: normal;font-family: 'Times New Roman'">数字质量流量控制系统是由多路质量流量计,流量显示仪等组成,实现气体的流量的精密测量和控制:/span>
4?span style="font-stretch: normal;font-size: 9px;line-height: normal;font-family: 'Times New Roman'">每条气体管路均配备高压逆止阀,保证系统的安全可靠、/span>
5?span style="font-stretch: normal;font-size: 9px;line-height: normal;font-family: 'Times New Roman'">采用水冷KF快速法兰密封,装卸方便快捷:/span>
6?span style="font-stretch: normal;font-size: 9px;line-height: normal;font-family: 'Times New Roman'">管路采用世界**Swagelok卡套连接,不漏气:/span>
7?span style="font-stretch: normal;font-size: 9px;line-height: normal;font-family: 'Times New Roman'">超温、过压时,自动切断加热电源及流量计进气,保证设备及实验的安全性、/span>
主要技术参数:
SGL-1700 高温炈/span> |
控温方式 |
采用人工智能调节技术,具有PID调节、自整定功能,并可编?0段升降温程序、/span> |
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加热元件 |
进口1700型优质硅钼棒 |
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工作电源 |
AC220V 50Hz/60Hz |
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额定功率 |
6kw |
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炉管材质 |
99瓶/span>氧化铜/span>刚玉箠/span> |
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炉管尺寸 |
Φ60/80/100*/1000mm |
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工作温度 |
?600ℂ/span> |
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**温度 |
1650ℂ/span> |
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恒温精度 |
±1ℂ/span> |
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升温速度 |
?0?min |
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测温元件 |
B型热电偶 |
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密封方式 |
不锈钢水冷KF法兰挤压密封 |
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ZK 真空系统 |
ZK-F |
ZK-K |
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真空范围 |
0.1-0.001Pa |
0.1-0.01Pa |
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极限真空 |
5.0*10^-5Pa |
5.0*10^-4Pa |
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产品配置 |
双级旋片真空?分子泴/span> |
双级旋片真空?扩散泴/span> |
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冷却方式 |
风冷 |
水冷 |
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逞/span> |
110L/S |
100L/S |
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测量方式 |
复合真空讠/span> |
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真空规管 |
电阻?电离觃/span> |
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ZDC-I 压强控制系统 |
测量范围 |
1*10^5?*10^-1 Pa |
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稳压(真空)范围 |
1*10^3?*10Pa |
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压力(稳定精度(/span> |
±3% |
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控制范围 |
2.5*10^3?*10^-1 Pa |
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控制精度 |
± 1% |
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HQZ-Ⅱ/span> 混气系统 |
控制方式 |
D07-7K质量流量?D08流量显示?/span> |
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流量规格(可订制(/span> |
0?00SCCM /0?SLM, |
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?/span> |
±1%F.S. |
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准确?/span> |
±1%F.S. |
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重复精度 |
±0.2%F.S. |
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响应时间 |
?sec |
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厊/span> |
3MPa |
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气路通道 |
3通道(根据客户需求) |
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阀 |
316不锈钡/span> |
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遒/span> |
Φ6mm不锈钢管 |
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叢/span> |
SwagelokΦ6mm |
企业名称
杭州嘉悦智能设备有限公司企业类型
其他有限责任公司信用代码
91310114MA1GTDEL81法人代表
张鹏注册地址
浙江省杭州市富阳区春江街道江南路68号第23?02宣/span>成立日期
2020-05-12注册资本
1,939.1??有效期限
2020-05-12 无固定期陏/span>经营范围
一般项目:通用设备制造(不含特种设备制造);烘炉、熔炉及电炉制造;冶金专用设备制造;玻璃、陶瓷和搪瓷制品生产专用设备制造;半导体器件专用设备制造;烘炉、熔炉及电炉销售;泵及真空设备销售;电子产品销售;仪器仪表销售;机械设备研发;冶金专用设备销售;半导体器件专用设备销售;机械电气设备销售;工业自动控制系统装置销售;技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广;新材料技术研发;新型陶瓷材料销售;石墨烯材料销售;石墨及碳素制品销售;非金属矿及制品销售;功能玻璃和新型光学材料销售;货物进出口;技术进出口(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)、/span>