产品应用９�/span>

主要用于大尺寸、高品质单晶/多晶金刚石的生产制造、�/span>

主要优势９�/span>

该产品采用全新一代碟形腔设计，是目前国内**大规模应用的碟形腔式方案，经过多年的研发攻关及技术积累，实现�?450MHZ � 915MHZ 两大系列全覆盖，系列产品包括 DiaCentre-6K-D、DiaCentre-10K-D、DiaCentre-36K-D、DiaCentre-50K-D、DiaCentre-75K-D等。经过批量应用验证表明，该装备具有成熟、可靠性高、批量致性好、腔体易洁操作、可避免石英刻蚀污染、等离子体覆盖面积大的突出特点、�/span>