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上海洁安流体科技有限公司
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产品分类
流量控制阀
过滤?/a>
产品简今/div>
结构特点Features
金属膜片密封 ,提高产品的洁净度与泄漏玆/span>
流道内部电解抛光粗糙度:EP: Ra 5 μin BA: Ra 10μin
母体螺纹?/4"JFS接头
内部容积?.49in³
*大流量:标凅30 SLPM,高流 HF:120 SLPM
设计验证压力:*大额定压力的150%
设计爆炸压力:*大额定压力的300%
100%出厂氦气测试
产品应用Product application
腐蚀性和特殊气体
半导体行丙/span>
研究实验宣/span>
化学工业
技术参?/span>Specifications
母体 :SS316L ,SS316L VIN/VAR ,Hastelloy®C22
阀座: PCTFE,Vespel®
膜片 :SS316L,Hastelloy®C22合金
进气压力?00, 3500psig
出气压力?0,15,25, 50, 100, 150psig
工作温度:PCTFE? 10℃至80 ( 14℉至176?
Vespel®? 26℃至177 ( 15℉至350?
泄漏率:
内漏2x10-10 sccs He
外漏2x10-9 sccs He
流量参数:Cv =0. 09 HF Cv=0.15
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