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凯戈纳斯仪器商贸（上海）有限公司
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产品简今/div>
ZEM-5 Series塞贝克系?电阻测量系统可以对高温材料，高电阻材料，薄膜材料等多种材料进行测量、/span>
应用９/span>
评估半导体、陶瓷、金属等材料的热电性能、/span>
特性：
1.应用于各种材料的特性及特殊规格的薄膜等：/span>
2.测试Si系列(SiGe, MgSi). (HT ? 的材料的**温度传感器是使用C型热电偶：/span>
3.标配V-I图自检测系统；
4.**测试温度1200℃（HT 型）：/span>
5.**测量电阻10MΩ（HR 型）：/span>
6.测量在衬底上的热电沉积膜＇/span>TF 型）：/span>
7.温控范围?/span>-150℃~200℃（LT 型）：/span>
设备参数９/span>
型号 |
ZEM-5HT |
ZEM-5HR |
ZEM-5LT |
ZEM-5TF |
特点 |
高温 |
高电阺/span> |
中低?/span> |
薄膜 |
温度范围 |
100~1200ℂ/span> |
50~800ℂ/span> |
-150~200ℂ/span> |
50~500ℂ/span> |
工作气氛 |
低压He氓/span> |
|||
试样尺寸 |
Square 2-4 mm or φ2-4 mm × 3-15 mm L |
基质沉积９/span> 2-4 mm W × 0.4-1.2 mm t × 20 mm L 薄膜厚度：纳米级或更厙/span> ※试样和基底之间需要绝缘层：/span> |
||
Seebeck系数测量方法设备参数＇/span>HT型）
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