SAL1000G是一款包含手套箱小型桌面ALD原子层沉积系统，具有良好的均匀性及优越的阶梯覆盖性能，使用户能够精确控制每个原子层的沉积。通过手套箱，可在惰性气体环境下进行操作，并且可以防止吸入纳米级颗粒。该设备是小型且经济实惠的型号，与主机和控制电源相结合，追求仅在桌面上更容易操作� 它能够处理多�?“晶圆的沉积，并对每个部件采取安全措施、�/span>

AGUS提供沉积测试服务作为我们支持的一部分，以提高实验准确性。请随时与凯戈纳斯仪器商贸（上海）有限公司联系、�/span>

-多样� -

· 真空可移动的手套箱可以处理易氧化的样品、�/span>

· 前驱体标配两组阀门和气瓶、�/span>

· 可选择将前驱体加热�?00摄氏度、�/span>

· 可选择基片自动旋转支架、�/span>

· 可选择粉体沉积配件、�/span>

· 可选择经济实惠的废气处理设备、�/span>

-表现 -

· 保证基片表面上的每个均匀原子层针孔自由层沉积、�/span>

· 通过阶梯覆盖沉积在不均匀�?D形状的表面、�/span>

· 与CVD和PVD相比，可以获得更好的沉积，特别是对于具有更高纵横比和多孔沉积材料、�/span>

-操作界面友好 -

· 触摸屏使用户可以轻松设置配方或沉积过程，并检查每个驱动系统的运动、�/span>

· 可进行自动沉积，并在沉积完成后自动完成N₂排放、�/span>

· 手套箱的真空排气和惰性气体的引入也可自动完成、�/span>

-安全� -

· 这是具有各种互锁功能的高级设备、�/span>

-具有轻柔关闭功能的顶部舱口使用户可以轻松地装载和卸载基片、�/span>

性能
真空�?/p>		到达压力	�?Pa
成膜性能		膜厚分布	≤� 3% ＇�span style="font-family:宋体">φ100mm（�/p>
设备构成
设备型号		SAL1000G
成膜方向		下表靡�/p>
基底尺寸		φ100mm or 4 inch Max
基底加热器温�?/p>		350� Max
前驱体数		2
前驱体温�?/p>		150� Max
净化气佒�/p>		N2 （气体控制：带流量计针型阀（�/p>
手套箰�/p>		有机玻璃，真�?氮气吹扫弎�/p>
真空泴�/p>		162L/min 旋片式真空机械泵
重量		本体�?0kg，手套箱�?5kg，真空泵�?7kg
可选配�?/p>		基片自动旋转支架 粉体沉积配件 废气处理设备 前驱体加热器- 200ℂ�/p>
安装要求
电源要求	电源	3相� 200V ± 10% �?5A �?0/60Hz
	接地	�?00Ω
	线缆	5m 附赠
N2吹扫气体	供给压力	0.1 ~.0.2Mpa
	接口	1/4 Swagelok
压缩空气	供给压力	0.6 ~0.8Mpa
	接口	φ6mm 接口
真空泵排气口	排气叢�/p>	KF-25法兰
设备排气叢�/p>	排气叢�/p>	φ38mm x L28软管适配�?/span>
安装尺寸		W1000 x D700 x H900