SuperViewW1三维光学轮廓测量�?/strong>是利用光学显微技术、白光干涉扫描技术、计算机软件控制技术和PZT垂直扫描技术对工件进行非接触测量，还原出工仵�/span>3D表面形貌宏微观信息，并通过软件提供的多种工具对表面形貌进行各种功能参数数据处理，实现对各种工件表面形貌的微纳米测量和分析的光学计量仪器、�/span>

SuperViewW1三维光学轮廓测量�?/strong>只需操作者装好被测工件，在检定软件上设定物镜倍率和测量模式后点击“开始”按钮，光学物镜会对工件表面进行自动对焦和非接触扫描，并按设定的位置进行测量，软件界面会实时扫描物体宏微观表面形貌；扫描结束后，操作者可通过分析工具对生成的3D形貌进行分析，得到如轮廓、厚度、粗糙度、体积等多种表面形貌测量分析数据、�/span>

该产品具有精度高、使用方便、功能强等优点，采用非接触式传感器扫描技术，用于对各种产品和部件的表面形貌特征进行测量和分析，它比传统的探针式轮廓仪操作更方便，测量精度更高、�/span>

由于采用非接触无损的测量方式，避免了对被测物体造成划痕和磨损，尤其适用于各种柔软材料、易腐蚀材料和传统方式无法检测的表面形态测量和分析、�/span>

还能够对各种表面的工件和材料从宏观到微观的进行长度、高度、间距、水平距离、垂直距离、角度、圆弧半径、表面粗糙度等几何参数进行亚微米、纳米级测量和分析、�/span>

系统软件为简体中文操作系统，操作方便、�/span>

SuperViewW1三维光学轮廓测量�?/strong>性能特点９�/p>

1)使用白光干涉测量技术，非接触式、非破坏性、快速表面形貌测量与分析：�/span>

2)台阶高度测量分辨率达0.1 nm：�/span>

3)可搭配黑白或彩色相机进行2D�?/span>3D显示和测量功能；

4)配置电动鼻轮，可同时挂载多种物镜并程序化控制切换使用：�/span>

5)采用双光源模式，适应特殊样品测量：�/span>

6)测量范围100×100mm(可按客户定制尺寸)：�/span>

7)配置低倍率物镜(2.5×咋�/span>5×倍率)，可进行大面�?/span>3D测量：�/span>

8)提供多种表面参数测量功能，如断差高度、夹角、面积、体积、粗糙度、波纹度、薄膜厚度及平面度；

9)提供超过250多种各类参数（含2D�?/span>3D）计算；

10)友好的人机界面，简便的图形化控制系统及3D图型显示：�/span>

11)多种交换文件格式，可储存与读取多秌�/span>3D轮廓文件格式：�/span>

SuperViewW1三维光学轮廓测量�?/strong>应用９�/p>

SuperViewW1三维光学轮廓测量�?/strong>广泛应用于汽车工业、半导体加工�?/span>精密加工、航空航天�?/span>造纸工业、钢铁工业、薄膜加�?/span>、生物医�?/span>�?/span>MEMS�?/span>能源器件�?/span>微电孏�/span>、信息存储、结构光�?/span>和通讯产品筈�/span>许多行业领域中、�/span>

各类光滑、连续光滑和适度粗糙物体表面从毫米到亚微米、纳米尺�?/span>皃�/span>3D形貌轮廓、坐标、厚度、粗糙度、体积、表面纹理等测量、�/span>

SuperViewW1三维光学轮廓测量�?/strong>技术指标：

光源	白光LED；绿先�/span>LED
影像系统	1280×1024
普通物镛�/span>	1×�?/span>2.5×�?/span>5×�?/span>10×�?/span>20×�?/span>50×�?/span>100×�?/span>150×
干涉物镜	5×�?/span>10×�?/span>20×�?/span>50×�?/span>100×
坡度	小于42º
物镜�?/span>	电控5孔物镜转盗�/span>
光学ZOOM	1×戕�/span>0.5×
XY移动平台	测量范围９�/span>100×100mm（可根据客户需要定制） 精度９�/span>0.5µm 分辨率：0.01µm 负载９�/span>10kg 控制方式：自�?/span>
水平调整	手动调整，°�/span>4°
Z轳�/span>	移动范围９�/span>100mm 分辨率：0.01µm
PZT扫描	行程９�/span>100µm 分辨率：0.8nm 重复性：5nm 扫描速度：≤30µm/s
测量模式与精�?/span>	垂直扫描VSI：�/span> 准确度（4.43µm台阶高）９�/span>0.75% 重复性（4.43µm台阶高）９�/span>0.1% 相移法扫揎�/span>PSI９�/span> 准确度（57nm台阶高）９�/span>1.5% 重复性（57nm台阶高）９�/span>0.3%
一般测量时闳�/span> (扫描范围10µm)	VSI９�/span>10S：�/span>PSI９�/span>3S