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型号
YCVD-1706品牌
上海煜志产地
上海样本
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YCVD-1706系统由高温管式炉，高真空扩散?分子泵系统，多通道高精度数字质量流量控制系统，自动压强控制系统等组成。可实现本底真空?.001?.0001Pa混合气体化学气相沉积和扩散试? 适用于真空镀膜、纳米薄膜材料制备、纳米线生长等场所、/span>
主要功能和特点：
1?span style="font-stretch: normal;font-size: 9px;line-height: normal;font-family: 'Times New Roman'">真空系统可根据使用要求选择我司扩散泵机组或分子泵机组；
2?span style="font-stretch: normal;font-size: 9px;line-height: normal;font-family: 'Times New Roman'">可配合压强控制仪控制气体压力实现负压的精准控制；
3?span style="font-stretch: normal;font-size: 9px;line-height: normal;font-family: 'Times New Roman'">数字质量流量控制系统是由多路质量流量计，流量显示仪等组成，实现气体的流量的精密测量和控制：/span>
4?span style="font-stretch: normal;font-size: 9px;line-height: normal;font-family: 'Times New Roman'">每条气体管路均配备高压逆止阀，保证系统的安全可靠、/span>
5?span style="font-stretch: normal;font-size: 9px;line-height: normal;font-family: 'Times New Roman'">采用水冷KF快速法兰密封，装卸方便快捷：/span>
6?span style="font-stretch: normal;font-size: 9px;line-height: normal;font-family: 'Times New Roman'">管路采用世界**Swagelok卡套连接，不漏气：/span>
7?span style="font-stretch: normal;font-size: 9px;line-height: normal;font-family: 'Times New Roman'">超温、过压时，自动切断加热电源及流量计进气，保证设备及实验的安全性、/span>
主要技术参数：
SGL-1700 高温炈/span> |
控温方式 |
采用人工智能调节技术，具有PID调节、自整定功能，并可编?0段升降温程序、/span> |
|
加热元件 |
进口1700型优质硅钼棒 |
||
工作电源 |
AC220V 50Hz/60Hz |
||
额定功率 |
6kw |
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炉管材质 |
99瓶/span>氧化铜/span>刚玉箠/span> |
||
炉管尺寸 |
Φ60/80/100*/1000mm |
||
工作温度 |
?600ℂ/span> |
||
**温度 |
1650ℂ/span> |
||
恒温精度 |
±1ℂ/span> |
||
升温速度 |
?0?min |
||
测温元件 |
B型热电偶 |
||
密封方式 |
不锈钢水冷KF法兰挤压密封 |
||
ZK 真空系统 |
ZK-F |
ZK-K |
|
真空范围 |
0.1-0.001Pa |
0.1-0.01Pa |
|
极限真空 |
5.0*10^-5Pa |
5.0*10^-4Pa |
|
产品配置 |
双级旋片真空?分子泴/span> |
双级旋片真空?扩散泴/span> |
|
冷却方式 |
风冷 |
水冷 |
|
逞/span> |
110L/S |
100L/S |
|
测量方式 |
复合真空讠/span> |
||
真空规管 |
电阻?电离觃/span> |
||
ZDC-I 压强控制系统 |
测量范围 |
1*10^5?*10^-1 Pa |
|
稳压(真空)范围 |
1*10^3?*10Pa |
||
压力(稳定精度（/span> |
±3% |
||
控制范围 |
2.5*10^3?*10^-1 Pa |
||
控制精度 |
± 1% |
||
HQZ-Ⅱ/span> 混气系统 |
控制方式 |
D07-7K质量流量?D08流量显示?/span> |
|
流量规格（可订制（/span> |
0?00SCCM /0?SLM, |
||
?/span> |
±1%F.S. |
||
准确?/span> |
±1%F.S. |
||
重复精度 |
±0.2%F.S. |
||
响应时间 |
?sec |
||
厊/span> |
3MPa |
||
气路通道 |
3通道（根据客户需求） |
||
阀 |
316不锈钡/span> |
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遒/span> |
Φ6mm不锈钢管 |
||
叢/span> |
SwagelokΦ6mm |
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YCVD-1706系统由高温管式炉，高真空扩散?分子泵系统，多通道高精度数字质量流量控制系统，自动压强控制系统等组成。可实现本底真空?.001?.0001Pa混合气体化学气相沉积和扩散试
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真空碳管烧结炉说明书
