误差率:
/分辨率:
/重现性:
/仪器原理9/p>其他
分散方式9/p>/
测量时间9/p>/
测量范围9/p>/
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共聚焦显微镜能测量表面物理形貌,进行微纳米尺度的三维形貌分析,如3D表面形貌?D的纵深形貌、轮廓(纵深、宽度、曲率、角度)、表面粗糙度等。VT6000激光共聚焦显微镛/strong>以共聚焦技术为原理,结合精密Z向扫描模块?D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表?D图像,通过系统软件对器件表?D图像进行数据处理与分析,并获取反映器件表面质量的2D?D参数,从而实现器件表面形?D测量、/p> VT6000激光共聚焦显微镛/strong> 1)设备具备表征微观形貌的轮廓尺寸及粗糙度测量功能; 2)设备具备自动拼接功能,能够快速实现大区域的拼接缝合测量; 3)设备具备一体化操作的测量与分析软件,预先设置好配置参数再进行测量,软件自动统计测量数据并提供数据报表导出功能,即可快速实现批量测量功能; 4)设备具备调整位置、纠正、滤波、提取四大模块的数据处理功能:/p> 5)设备具备粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能:/p> 6)设备具备一键分析和多文件分析等辅助分析功能,可实现批量数据文件的快速分析功能; 应用于半导体制造及封装工艺检测?C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。可测各类包括从光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等,对各种产品、部件和材料表面的面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、平面度、粗糙度、波纹度、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析、/p> 太阳能电池应?/p> VT6000激光共聚焦显微镛/strong>的测量方式是非接触式,不会破坏样品的表面,不需要在真空环境下测量,也可以用显微镜测量的功能来观测样本,其在严酷的工作环境下,也能正常使用。由于使用了共聚焦的方法,在测量渐变较大的高度时,跟其他方法相比,可以更准确量测物体高度,建?D立体影像、/p>产品功能
应用
VT6000激光共聚焦显微镜的测量方式是非接触式,不会破坏样品的表面,不需要在真空环境下测量,也可以用显微镜测量的功能来观测样本,其在严酷的工作环境下,也能正常使用。由于使用了共聚焦的方法,在测量渐变较大的高度时,跟其他方法相比,可以更准确量测物体高度,建?D立体影像