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型号
2英寸氧化镓衬底片品牌
富加镓业产地
江苏样本
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-规格外形（长*?高）９/p>-
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晶圆产品参数
电学参数
UID?×1016~5×1017cm-3；Sn：≥1×1018cm-3；Fe：绝缘≥1×1010Ω·cm
晶面?100)
电学参数
UID?×1016~5×1017cm-3；Sn：≥1×1018cm-3；Fe：绝缘≥1×1010Ω·cm
晶面?100)
双晶摇摆半高宽：?50“/p>
位错密度?lt;1×105cm-2
目前参考尺寸：2 inch
参考边：[010]方向
加工指标
晶面偏差?lt;±1°；直径：50.8 mm±0.3 mm；厚 度： 0.65 mm ± 0.05mm；单面抛光，Ra<0.5 nm
产品外形示意国/strong>
电学参数
UID?×1016~5×1017cm-3；Sn：≥1×1018cm-3；Fe：绝缘≥1×1010Ω·cm
晶面?100)
双晶摇摆半高宽：?50“/p>
位错密度?lt;1×105cm-2
目前参考尺寸：2 inch
参考边：[010]方向
加工指标
晶面偏差?lt;±1°；直径：50.8 mm±0.3 mm；厚 度： 0.65 mm ± 0.05mm；单面抛光，Ra<0.5 nm
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