参考价栻/p>面议
型号
4~8英寸碳化硅外廵/span>品牌
华创晶瑞产地
江苏样本
暂无纯度9/p>-
目数9/p>-
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低缺陷密度控制技?nbsp;
技术团队依靠多年的外延工艺经验和现阶段的技术开发,不断优化和迭代自有碳化硅外延技术,同时针对不同厂家的衬底进行开发,在不同厂家的衬底进行的外延生长均能实现低缺陷密度,为器件的可靠性提供有力的保障、/p>
高均匀性外延技?nbsp;
技术团队经过一系列的工艺优化和设备改造升级,碳化硅外延片的外延层厚度不均匀性可?.5%,外延层载流子浓度不均匀性可?.5%、/p>
双激光精准缺陷扫揎/p>
已经采用双激光扫描缺陷检测设备,除了精准检测晶体表面的形貌缺陷外,对于材料内部的晶格缺陷也能精确扫描和检测、/p>
预防器件失效技?/p>
除了常规的量测和控制方法外,技术团队增加特殊管控方法,确保碳化硅外延片不会因外延材料质量异常导致器件失效、/p>
暂无数据