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工作原理
使用1个电流源通过串联加热两组灯丝组,每个灯丝组有21个灯丝位置,允许一次对21个位置进行去气,也可连续依次?组灯丝(42个)进行去气。设备的工作程序设定和设备的操控采取平板电脑触摸屏的方式、/p>
技术指栆/strong>
◦输入电源:220 VAC(?0%),50-60 Hz
◦输出能力:0-150 V / ******15 A(电流控制精度?0 mA(/p>
◦控制系统:Intel Celeron J1800处理器,2GB SRAM,支持RS485通信
真空保护
◦启动阈值: 5×10⁻⁶ mbar(自动触发去气流程)
◦异常终止: 5×10⁻⁴ mbar(自动暂停去气流程)
高效去气模式
◦支持自定义烧带流程,可设定电流值(如闪烧电流≤4.8 A)及间隔时间,程序文件断电后仍可保存、/p>
智能监控
◦通过平板电脑触摸屏实时显示真空度、灯丝电?电压、分子泵转速等
关键参数
◦尺寸:68 cm(长) 62 cm(宽) 150 cm(高,打开腔室时)
◦重量:80 kg(不含前级机械泵(/p>
◦输入电源:220 VAC(?0%),50-60 Hz
运行环境
◦温度:10-35ℂ/p>
◦湿度:30%-90%(无冷凝(/p>
◦海拔:**3000籲/p>
安全与保際/strong>
◦紧急电源切断开关,支持快速断甴/p>
◦真空腔体高温防护罩,防止烫伣/p>
质量保障体系
◦认证标准:ISO 9001/CE双认?/p>
◦老化测试?2小时连续高温真空测试
◦泄漏控制:年泄漏率?.5%(氦质谱检测)
服务支持
交付周期?0-12周(含定制化调试(/p>
技术支持:24小时诊断响应
数据服务:操作日志自动生成(温度/电流/真空度时间序列)
暂无数据