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“冰刻”是使用“冰胶”替代光刻胶完成微纳加工的电子束光刻技术。在零下140度左右的真空环境下，“冰”能够在平面或立体表面形成均匀“薄膜”，结合一体化集成电子束加工镀膜、刻蚀等工艺流程，可实现三维结构加工、立体表面加工、敏感材料加工等应用、img src="//www.znpla.com/img1/img/daily/2025/04/12/085147_518487_procont.png" title="085147_518487_procont.png" alt="image.png" width="677" height="446" style="width: 677px; height: 446px;"/>
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