金属电热元件9/p>其他
烧结气氛9/p>其他
温控精度9/p>-
最高温度:
-额定温度9/p>-
非金属电热元件:
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粤升设备自主研发的SiC外延炉,外延炉已获得多家外延生长厂家批量订单,生长的SiC外延片质量达到国?*水平,满足SBD和MOSFET器件的制备要求、/p>
设备名称:SiC外延炈/p>
设备型号:YS-E08S01
设备功能:CVD法生长SiC同质外延
衬底尺寸:6吋兼?吊/p>
片内厚度不均匀?<2%片内掺杂浓度不均匀?<5%形貌缺陷密度:<1?平方c㎠/p>
·具备n、p型及高速率的外延生长能劚/p>
·RUN TO RUN性能优异
高均匀性、低缺陷的SiC外延质量
,供液一体化系统+/p>
暂无数据