非金属电热元件：
其他金属电热元件９/p>其他
烧结气氛９/p>其他
温控精度９/p>-
最高温度：
2400ℂ/span>额定温度９/p>-
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技术参?/span> |
|
生长工艺 |
PVT |
生长尺寸 |
6-8英寸 |
产品类型 |
非标定制 |
加热方式 |
感应加热（中频感应加热） |
**温度 |
2400ℂ/p> |
控制方式 |
PLC集成控制 |
系统极限真空?/p> |
?.5×10-5 Pa (经烘烤除气后) |
系统真空检漏漏玆/p> |
?.0×10-7 Pa.l/S |
冷却方式 |
循环水路系统 |
系统停泵关机12小时后真空度 |
?Pa |
双层立式石英管水冷结构提供稳定的长晶环境，利于生长高品质晶体，上下温度实时精确监控便于工艺调试，采用上下双测温精确监控提供更优的工艺调整，碳化硅感应式长晶炉适用于生长高纯度碳化硅单晶、高纯度碳化硅原料合成等
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