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设备采用电阻加热及热场结构,温场均匀、稳定。内壁氩弧焊接,内表面镜面抛光,反射热量,减少功率损耗,减少气体附着。自主研发控制系统,实现自动化稳定、安全、操作便捷、/p>
技术参?/span> | |
生长工艺 | PVT |
生长尺寸 | 6-8英寸 |
产品类型 | 非标定制 |
加热方式 | 电阻式加?/p> |
**温度 | 2400ℂ/p> |
系统停泵关机12小时后真空度 | ?Pa |
控制方式 | PLC集成控制 |
系统极限真空?/p> | ?.5×10-5 Pa (经烘烤除气后) |
系统真空检漏漏玆/p> | ?.0×10-7 Pa.l/S |
冷却方式 | 循环水路系统 |
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