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AJA的ATC-B系列批量镀膜系统是定制化溅射和蒸发系统,可以处理小批量多种基片。根据用户不同需求,可选择圆柱腔体或箱式腔体结构。由于生长中材料不会落到基片或磁控溅射靶源里?会造成短路和工艺中?,水平磁控溅射可以有效增加工艺次数、/p>
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红外气体传感 Gasboard-2060
等离子体增强化学气相沉积系统CVD
CVD 真空化学气相沉积设备
XRD系列晶向定位
WG-1250自动减薄朹/p>