参考价栻/p>面议
型号
ASPIPER 3000 非线性光学晶圆缺陷检测系绞/span>品牌
微崇半导佒/span>产地
北京样本
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ASPIPER 3000
非线性光学晶圆缺陷检测系绞/p>
ASPIRER 3000非线性光学晶圆缺陷检测系统可以提供晶圆级别的缺陷检测,对界面及膜层质量进行综合测试分析,提升各类制程的良率。独有的非线性光学技术配合自主研发的检测系统可提供超高的检测灵敏度,并对有、无图案晶圆均有良好的适用性。ASPIRER 3000机台可满足客户在研发和量产中对晶圆质量的快速、无损、精准检测需求、/p>
产品特点
非接触、无损伤
快速检浊/p>
在线检浊/p>
软件操作便捷
Wafer Map等多样化表征手段
主要应用
各类成膜工艺质量的监?/p>
各类生产工艺机台稳定性的监控
刻蚀等工艺对晶圆损伤的检测与监控
离子注入及退火工艺的质量监控
清洗等工艺质量的监控
暂无数据