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高分辨率
*小流量达1mL/shot，为晶圆清洗过程中所需的化学凝结控制，提供更高的准确性、/span>
CFD系列能提供准确流量，防止过量添加或液体浪费。此外，防虹吸设计防止意外吸入、/span>
耐腐蚀过流?/span>
氟材质口过流?PTFE / PFA / PCTFE)是能够处理半导体加工所用的强酸、强碱和双氧水、/span>
针对化学腐蚀，PTFE / PFA / PP / PVC材质外部零件和PTFE涂层螺丝能提供额外的保护、/span>
宽广的吐出率调节
打开底盖可轻松在1.0-2.7ml/shot之间调节冲程长度 (出厂默认设定?.0ml/shot)、/span>
配备泄漏传感?/span>
每台泵都配有泄漏传感器，可实时检测任何泄漏情况、/span>
**吐出野/span> |
1 mL/shot |
**吐出压力 |
0.05 MPa |
**冲程玆/span> |
30 spm |
主要材质 |
PTFE, PFA, PCTFE |
液体输送温度范図/span> |
20 ~ 60 °C |
暂无数据
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