看了FS-N 系列半导体气动泵的用户又看了
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高速冲稊/span>
高速冲 (FS-80N**?00 spm),让结构紧凑、重量轻、成本低,可同时用于高流量及高压劚/span>
工况、/span>
无污染设讠/span>
过流端采用氟树脂无污染构造,使用独有的轴封显著降低颗粒的产生(已申?*)、/span>
高流量及高吐出压劚/span>
**吐出量高?.7MPa,不仅满足化学供药过程中高流量及高吐出压力的需求,同时适用于清洖/span>
及CMP制程、/span>
传感器驱动系绞/span>
内置式开关通过传感器驱动系统打开/关闭电磁阀。因此,即使连接各种控制器,亦可以轻易控刵/span>
吐出量、/span>
**吐出野/span> |
100 L/min |
**吐出压力 |
0.7 MPa |
**耗气野/span> |
1495 NL/min |
**冲程玆/span> |
100 spm |
主要材质 |
PTFE, PFA |
液体输送温度范図/span> |
5 ~ 60 °C |
暂无数据