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低脉?/span>
独特的系统驱动机制，确保气囊**运动效果，将脉动减到*低、/span>
减低压缩空气消耗量
在不影响泵的性能下，减少高达30%的压缩空气消耗量、/span>
高持续压劚/span>
**的气囊运动，有效提高压力的承受能力，以维持稳定的流量和负载频繁变化下的吐出压力，
尤其在单晶圆处理过程中、/span>
无需阻尼?/span>
泵的运作无需使用阻尼器，节省设备空间及安装费用，例如氟塑料接管等、/span>
整体设备的重?尺寸得以*小化、/span>
FLP-60W |
FLP-75W |
|||||
**吐出野/span> |
50 |
92 |
||||
**脉动范围 |
0.06 MPa |
|||||
液体温度范围 |
5-100°C |
101-150°C |
150-180°C |
5-100°C |
101-150° |
150-180°C |
**液体粘度 |
50 mPa・s |
|||||
吸程 |
1 m |
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环境温度/湿度 |
0~40°C (非冷?/ 30~60°C (非冷? |
0~60°C (非冷? / 30~60°C (非冷? |
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储存温度/湿度 |
-10~60°C (非冷? / 20-70°C (非冷? |
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重量 |
22 kg |
42 kg |
||||
暂无数据
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