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超高真空多腔体自动传输蒸镀/溅镀系统
Description :
●UHV 多腔佒Ion Sources, Thermal/E-Beam Evaporator,Sputter .E-Beam... etc.,
◎/span>基板:多片/单片Max 8 Inch,5x5 cm,10x10cm或其他尺寷/p>
◎/span>单片,多片承载装置Cassettes,可程式自动选择及传辒/p>
◎/span>真空?UHV 10-9 Torr
◎/span>自动传输,自动制程设?..etc.,
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