参考价栻/p>面议
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定制?溅镀系统品牌
毅睿/芯壹斸/span>产地
中国样本
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溅镀系统
?nbsp; 溅镀系统主要由以下几个部分组成:真空室、排气系统、溅射源和控制系统。其工作原理分为抽真空、辉光放电和溅射三个阶段。首先,通过抽气系统将真空室内的空气抽出,达到所需的真空度;然后,通过高压电离室内气体产生等离子体?后,高能粒子轰击靶材表面,使靶材表面的原子被溅射出来,沉积在基片上形成所需膜层/span>
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