非金属电热元件:
其他金属电热元件9/p>其他
烧结气氛9/p>其他
温控精度9/p>±0.5ℂ/span>
最高温度:
1050ℂ/span>额定温度9/p>-
看了低压硼扩散炉的用户又看了
虚拟号将180秒后失效
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主要特点
◆产胼2200~2880pcs/箠/p>
◆管?6箠/p>
◆压力控刵APC控制方式
◆系统控刵PLC和PC工控朹/p>
◆通讯:Melsec,MES,I/O,SECS-II筈/p>
◆自动化集成:用于客户优化和MES控制集成的全自动化解决方桇/p>
工艺规范
◆方阻倻50~350 Ω/cmsq
◆极限真穹?0mbar
◆方阻均匀?<5%(片内/片间/批间)
暂无数据