金属电热元件9/p>其他
烧结气氛9/p>其他
温控精度9/p>-
最高温度:
-额定温度9/p>-
非金属电热元件:
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主要特点
◆产胼>25000pcs/h;4800~5280pcs/?105*210mm)
◆管?6箠/p>
◆压力控刵APC控制方式
◆系统控刵PLC和PC工控朹/p>
◆通讯:Melsec,MES.I/O,SECS-II筈/p>
◆自动化集成:用于客户优化和MES控制集成的全自动化解决方桇/p>
工艺规范
◆方阻倻30~60Ω/cmsq
◆极限真穹?0mbar
◆方阻均匀?<5%(片内/片间/批间)
硬件规格
◆恒温区长度:2800mm
◆温区数野6个温匹/p>
?*温度:950ℂ/p>
◆温度均匀?800℃~950℃?.5ℂ/p>
◆晶圆装载法:碳化硅悬臂桨
◆桨?*承重野100kg
◆工艺腔和舟的材?石英?amp;碳化硅舟托独立磷源柜,便于更换源瓵/p>
优点
◆快速的工艺认证,可以极高的提升生产
◆工艺过程中APC良好的控制工艺管压力
◆使用SiC桨使加载区稳定,SiC舟托使用寿命更长
◆更大的正常运行时间和更低的成本,良好的技术支持和服务,确保设备长期稳定使?/p>
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