非金属电热元件:
其他金属电热元件9/p>其他
烧结气氛9/p>其他
温控精度9/p>-
最高温度:
-额定温度9/p>400℃~1286ℂ/span>
看了扩散炉的用户又看亅/p>
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扩散炉应用于半导体器件、分立器件、光电子器件、电力电子器件、太阳能电池及大规模集成电路制造等领域对晶片进行扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺,可用?-8英寸工艺尺寸、/p>
控制系统特点
工艺曲线的自动运行控制功胼/p>
可存储多组PID参数供系统运行调用功胼/p>
系统故障自诊功能
停电后断点继续运行功能等筈/p>
具有自主知识产权的软件系?良好的人机界靡/p>
具有多点温度补偿
具有多种故障报警及各种安全互锁保护功胼/p>
★支持SECS/GEM通讯
★该系统可根据用户的特殊要求增减或开发相应的功能
主要技术指栆/p>
晶圆尺寸:4~8英寸
工艺管数:1~4??/p>
工作温度范围:400℃~1286ℂ/p>
恒温区长?300~1500mm
单点温度稳定?+0.5?24h
**可控升温速度:15?min
**降温速度:5?min
★可为用户量身定制非标准产品
暂无数据