非金属电热元件:
其他金属电热元件9/p>其他
烧结气氛9/p>氧气
温控精度9/p>-
最高温度:
-额定温度9/p>1380℃~1500ℂ/span>
看了高温氧化炉的用户又看亅/p>
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SiC与GaN晶圆氧化工艺设备,工艺时间短,生产效率高,具有出色的工艺性能、/p>
设备特点
型号:OXIDE150
工艺温度:1380℃~1500ℂ/p>
工艺气体:H?N₂O/NO/O?Ar?N₁/p>
工艺压力:100mbr-Atmospher
晶圆尺寸:?50mm
产能:25?0 ?扸/p>
正常UP Time:98%
全自动化系统和MES服务
暂无数据