规格外形（长*?高）９/p>-
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产品说明
全自动晶圆上蜡机AET-2000B为半导体晶圆材料的上蜡设备，通过气缸和气囊共同作用下压片＋/span>
贴蜡平整度可?um，可兼容248mm?60mm?85mm陶瓷盘、/span>
采用高效机械手和精密级执行机构，控制系统稳定，重复定位精度高，产能大、/span>
产品规格
项目 |
参数 |
型号 |
AET-2000B |
晶圆尺寸 |
2-6英寸/4-8英寸 |
材质品种 |
碳化硅、蓝宝石、磷化铟等晶圅/p> |
涂蜡方式 |
离心 |
加热方式和精?/p> |
电热管、?ℂ/p> |
压贴方式 |
气囊 |
上下料方弎/p> |
高效机械手及自动传送臂 |
机械手夹持方弎/p> |
陶瓷手指真空吸附 |
加热盘温控范図/p> |
40-80ℂ/p> |
贴片后平整度 |
?um |
喷蜡重复定位精度 |
±0.05mm |
喷蜡精度 |
±0.02g |
装载单元 |
双工佌/p> |
设备重量 |
L2600mmxW1200mmxH1930mm;1100Kg |
自动化要汁/p> |
半自动：机械手自动取片，手动卸片、搬运和清洗陶瓷盗/span> 全自动：机械手自动取片、卸片、陶瓷盘搬运和清洖/span> |
暂无数据
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