看了室温自动探针 TZ-H-06的用户又看了
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室温自动探针台,高可靠性探针台系统,主要应用在半导?微电子, 电子,机电,物理,化学,材料,光电,纳米,微机电/MEMs,生物芯片等科学研究领域,以及IC设计/制?测试/封装、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生产制造领域、/span>
旨在预算与高测量可靠性之间寻求平衡点,该平台配备高精度位移台,可实现X、Y、Z R等方向自动调整,各移动轴可实现?.005mm以下的精度定位,对阵列型测量特征可实现快速准确的测量。经济实用,稳定性强,可升级扩展,操作方便是本产品的核心价值,在各大高校、研究所及半导体行业应用广泛、/span>
产品特征
1、标?个探针臂,可提供4-8个探针臂。调节范?0mm*50mm*30mm,调节精度优?um。每个探针臂配备一根Triax三同轴低漏电线缆及探针。样品台底座配备额外一根Triax三同轴低漏电线缆:/span>
2、显微镜模块:连续变倍单筒显微镜,光学放大倍率?.5X~5.0X(使?X附加物镜时) 视频放大倍率?00倍。可?X附加物镜。分辨率优于2um。全高清数字摄像头,带同轴照明和环形照明,带机械调焦和光学调焦;
3、样品座采用电机驱动,可实现快速于目镜下寻找样品,调节范围?00mm*100mm*15mm*±180°、/span>
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