干式液氦温区探针台产品特炸�/span>

1、真空腔体：真空度优�?×10-4 Pa。降温后优于6×10-5 Pa。留�?个用户法兰接口（KF40可接入气体或者额外的电缆）；

2、探针控制：标配6个探针臂。调节范�?10mm*50mm*30mm，调节精度优�?0um。每个探针臂配一根Triax三同轴低漏电线缆及探针。样品台底座配备额外一根Triax三同轴低漏电线缆：�/span>

3、显微镜模块：连续变倍单筒显微镜，光学放大倍率�?.5X~3. 75X（使�?. 75X附加物镜时），视频放大倍率�?00倍。可�?X附加物镜。分辨率优于2um。全高清数字摄像头，带同轴照明和环形照明，带机械调焦和光学调焦；

4、变温样品台：直径标�?0mm，可选配150mm。变温范围：6K~400K。控温稳定性优于�?.01 K;

5、可选配接入光纤，可将一根或几根电学探针替换为光纤；

6、系统直流漏电低�?pA;

7、产品含进口分子泵机组、全量程真空规和智能温控仪、�/span>