PicoFemto原位扫描电镜光电力一体化系统，集成了扫描探针控制单元，可在三维空间内对电�?/span>

探针与光纤探针进行亚纳米级别精度的操纵与定位。通过电学探针施加电场，通过光纤施加光场＋�/span>

对单个纳米结构进行操控并进行电学性质、光电性质的测量。并可在物性测量的同时，动态、高刅�/span>

辨地对样品的晶体结构、化学组分、元素价态进行综合表征，大大地扩展了扫描电镜的功能与应用

领域、�/span>

性能指标

电学测量指标９�/span>

� 包含一个电流电压测试单元；

� 电流测量±1.5 A，�?00 fA：�/span>

� 电压输出±200 V，�?00 nV：�/span>

� 自动电流-电压（I-V）测量、电�?时间（I-t）测量，自动保存、�/span>

扫描探针操作指标９�/span>

� 粗调范围：XY方向2.5 mm，Z方向1.5 mm：�/span>

� 细调范围：XY方向18 um，Z方向1.5 um：�/span>

� 细调分辨率：XY方向0.4 nm，Z方向0.04 nm、�/span>

光纤指标９�/span>

� 光纤外径250 um，保证电镜系统真空指标；

� 可选光纤探针、平头光纤、光纤透镜：�/span>

� 可选SMA接头、FC接头、�/span>

力学传感器指标：

� 载荷100 mN（可�?.1 mN�? mN�?0 mN�?00 mN）；

� 力测量实测噪声优�?nN�?.1 mN**载荷时）：�/span>

� 力测量实测分辨率优于5 nN�?.1 mN**载荷时）：�/span>

� 自动测量�?距离曲线，自动保存、�/span>