参考价栻/p>面议
型号
Gasboard-2061品牌
四方仪器产地
湖北武汉样本
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产品名称：红外气体传感器
产品型号：Gasboard-2061
红外气体传感器产品概?/p>
红外气体传感器是由四方仪器自主研发的高性能气体传感器，产品基于非分光红外技?NDIR),能够精确测量半导体等应用中产生的WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等气?兼容机台内常见预留尺寸、法兰和通讯协议，可用于半导体沉积和清洗工艺的端点检测、腔室清理终端检?能够减少清洁时间,节约成本,提高产量、/p>
红外气体传感器产品特?/p>
使用NDIR技术，多气体监测支?WF6?/span>CF4、SF6、NF3、CO2等气?
响应时间快，高灵敏度
无耗材
模拟/数字通信
模块化设计，便于集成
红外气体传感器技术参?/p>
| 检测原琅/span> | NDIR |
| 检测气佒/span> | WF6、CF4、SF6、NF3、CO2 |
| 量程 | 1~264ppm(0~200mTorr) |
| 重复?/span> | ±0.5% |
| 线?/span> | ±1%F.S. |
| 检测限 | 1ppm |
使用NDIR技术，多气体监测支?WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等气?
响应时间快，高灵敏度
无耗材
模拟/数字通信
模块化设计，便于集成
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移动?/p>
工商已核宝/p>
煤气成分与热值监?山西大型有色金属生产企业煤气巡检项目
