参考价栻/p>面议
型号
GIGAbatch 310M等离子系绞/span>品牌
PVA TePla产地
北京样本
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GIGAbatch 310M等离子系 GIGAbatch 产品系列中的入门级型号。作?小的系统,GIGAbatch 310M具有较高的性价比,凭借先进的等离子技术以及经济实惠等优点,它是实验室和大学的理想之选。然而,即使是基础版本,它也可用于使用 MFC 气体管道 600 W 发生器,执行手动和自动等离子处理、/p>
基础版本的桌面型;为第二个气体管道提供空闳/p>
腔室*多可容纳 25 片直径为 150 毫米的晶圆,可以使用石英舟批量处理,或使用带有特殊装载装置进行单片处琅/p>
各种个性化配置的配仵/p>
具有特殊密封材料的配置,带冷却板和循环冷却器的腔室可用于从晶圆上去除 SU-8、/p>
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