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采用双面无接触的方式对晶圆进行清洗或蚀刻的专用设备,适用?"-6"晶圆?? 8″晶圆?? 12″晶圆、/p>
工艺过程可编程,适应不同工艺需汁/p>
可对正面及背面同时进行清洗或腐蚀
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性价毓/p>
陶瓷盘清洗机
水热合成反应釛/p>
等离子清洗机 LPC-100
立式灭菌器Systec V 系列
连续式医药微波杀菌设夆/p>