生长宣�/span>

· 极限真空5E-11Torr

· 6英寸�?×3英寸衬底

· 12个源炉口

· 可选E-gun系统

· 衬底**加热�?000°C

· 多种束源炉挡板可逈�/span>

缓冲宣�/span>

·极限真空SE-10Torr

·可选集成式高温除气�?/span>

·可选独立预处理宣�/span>

·易于扩展、多腔互聓�/span>

·线性手动／自动传输

进样宣�/span>

· 快开门设讠�/span>

· 可装�?片晶圅�/span>

· 红外灯管加热

· 晶圆升降电动控制