参考价栻/p>面议
型号
立式炈/span>品牌
电子科技产地
湖南样本
暂无非金属电热元件：
其他金属电热元件９/p>其他
烧结气氛９/p>其他
温控精度９/p>≤?ℂ/span>
最高温度：
1100ℂ/span>额定温度９/p>-
看了立式炉的用户又看亅/p>
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序号 |
指标名称 |
主要技术指栆/span> |
1 |
晶圆尺寸 |
8英寸 |
2 |
**温度 |
1100℃（石英（/span> |
1250℃（碳化硅） |
||
3 |
控温精度 |
≤°/span>0.5ℂ/span> |
4 |
温度均匀?/span> |
≤°/span>1ℂ/span> |
5 |
升温速率 |
0-10ℂ/span>/min |
6 |
**装载野/span> |
170牆/span> |
7 |
有效工作区域 |
Φ230mm×780mm |
8 |
温区数量 |
5 |
9 |
气路数量 |
4 |
10 |
片内均匀性（WIW（/span> |
≣/span>2% |
11 |
片间均匀性（WTW（/span> |
≣/span>2% |
12 |
批间均匀性（RTR（/span> |
≣/span>2% |
13 |
新增颗粒 |
≣/span>50（≥0.16μm（/span> ≣/span>30（≥0.2μm（/span> |
14 |
金属污染 |
<5E10 atms/cm2 |
暂无数据
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