参考价栻/p>面议
型号
M5111-8WKUM型高温负压氧化炉设备品牌
电子科技产地
湖南样本
暂无非金属电热元件：
其他金属电热元件９/p>其他
烧结气氛９/p>其他
温控精度９/p>≤?mm
最高温度：
-额定温度９/p>-
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高温氧化炉是半导体器件加工中的典型热处理设备，用于集成电路、分立器件、太阳能光伏行业中进行氧化、退火、合金及烧结等工艺、/span>
高产能，单管产能可达1600?批；
温控系统性能出色，采用可预测型五段双回路智能温控系统以及新型炉体，控温精度和回温性能优异：/span>
全套倍福系统及总线控制方式，可靠性和信息化化性能优异：/span>
自动上下料系统，采用全自动上下料、在线式插取片对接系统，扩展了设备自动化程度，降低人工劳动强度，减少人工污染、/span>
产能 |
硅片尺寸 |
156×156mm方片 |
单管装片野/span> |
1600?批（槽间?.38mm（/span> |
|
工艺类型 |
高温氧化、退火工艹/span> |
|
温度控制系统 |
控温方式 |
5段双回路串级控制 |
控温范围 |
600℃～1100ℂ/span> |
|
恒温区长度及精度 |
≤?.5?1600mm?01℃～1100℃） ≤??1600mm?00℃～800℃） |
|
单点稳定?/span> |
±0.5?24h(静态，900? |
|
炉体升降温速率 |
**升温20˚C/min?*降温5˚C/min |
|
气路系统 |
流量控制方式 |
氮气、氧气流量由MFC控制；保护氮气由浮子流量计控刵/span> |
气体控制精度 |
±0.5%FS |
|
送舟机构 |
水平推舟速率 |
1?00mm/min连续可调，定位精度≤±1mm |
垂直升降速率 |
8?2mm/min |
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石英舟进出方弎/span> |
软着陆、在线式（净化台侧出舟） |
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SiC?*承载 |
25Kg |
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控制系统 |
工艺监控方式 |
工业平板电脑全自动控制（触摸屏操作） |
自动控温功能 |
具有自动斜率升降温及恒温功能 |
|
工艺历史记录功能 |
核心工艺参数（温度、压力、流量、功率、电流、淀积时间）?秒记录一次，其他过程?0秒记录一次、/span> |
|
报警保护功能 |
设备具有工艺状态声光提醒，以及计算机异常、超温报警与欠温、MFC偏差、反应室压力偏差、极限超温报警和保护功能：/span> |
|
其他参数 |
设备峰值功玆/span> |
280 KVA?管） |
保温功率 |
75 KVA?管） |
|
设备柜体尺寸 |
7440mm(长）×2020mm（宽）?530（高（/span> |
|
设备利用玆/span> |
?8% |
暂无数据
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移动?/p>
工商已核宝/p>
