参考价栻/p>面议
型号
美国SVT 脉冲激光沉积设夆/span>品牌
北京中精?/span>产地
北京样本
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美国SVT 脉冲激光沉积设?PLD应用
多元素复合氧化物
高温超导材料
磁性材料、金属材斘/span>
低蒸汽压材料
MEMS
基本系统
腔室及真空泵
12’ 快速门?50l/s 分子泵,全量程规
沉积溏/span>
靶台?X1’?25mm) 靶,可以水平旋转+/span>可Z方向移动
样品?/span>
1’?25mm)大小,可加热?00oC?000oC可选),可水平旋转,可Z方向移动
在线工艺监控
石英晶振沉积速率监控?/span>
自动匕/span>
自动化装置:
控制样品温度和旋?/span>
靶台的位置控刵/span>
靶台旋转
气体控制
速率及厚度计算(利用QCM输出(/span>
激光束扫描(可选)
激光束屏蔽控制
自动泵抽和充氓/span>
差分泵抽结构
RHEED分析(可选)
装载室压强监控(可选)
美国SVT 脉冲激光沉积设?PLD主要特点
RF射频等离子源(氧,?
升级高真穹br style="margin: 0px; padding: 0px;"/>增加进样宣br style="margin: 0px; padding: 0px;"/>升级为Laser-MBE (L-MBE)系绞br style="margin: 0px; padding: 0px;"/>自动软件控制
提供更洁净的薄膜生长环?控制解决方案
暂无数据