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型号
BASIS系列OEM气体流量控制?/span>品牌
博思飞尓/span>产地
上海样本
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对于大数额订单，BASIS糺/span>列OEM气体质量流量控制?/span>，能为用户提供可重复、可靠、经济的气体流量控制方案。专为原始设备制造商（OEM）无应力设备集成而设计的BASIS轻便灵巧、内置高精度MEMS传感器、并具有艾里卡特特有的快速阀门控制、/span>
可靠-BASIS系列OEM气体质量流量控制器绝不会让您感到失望，NIST可溯源的精度与重复性使其在工作?00天时仍像**天一样、/span>
灵敏-您不会再因为压力峰值而毁了一整天。BASIS系列OEM气体质量流量控制器具有业?*的控制速度和阀门调节，能带给用户的益处将远远超出预期、/span>
兼容-BASIS系列OEM气体质量流量控制器应用范围相当广，轻便灵巧、多气体标定、模拟及数字双重通讯将为您的项目设计提供更大的灵活性、/span>
| 精度 | ± 1.5 %R.D and ± 0.5 %F.S |
重复?/p> |
± 0.5 % R.D |
| 控制范围 | 1?00% F.S ( 0 -100SCCM ) ：span style="margin: 0px; padding: 0px; border: 0px; font-style: inherit; font-variant: inherit; font-stretch: inherit; font-size: inherit; line-height: 22px; font-optical-sizing: inherit; font-kerning: inherit; font-feature-settings: inherit; font-variation-settings: inherit; vertical-align: baseline;">0.5?00% F.S ( 0 -1000SCCM?-20SLM?-50SLM ) |
| 响应时间 | 优于100 ms |
| 工作温度 | 0?0°C |
预热时间 |
70 ms |
| 模拟通讯 |
4?0 mA, 0? VDC, |
| 数字通讯 | RS-232?nbsp;RS-485 ；Modbus RTU协议 |
| ?nbsp; 溏/span> | 10 - 30 VDC：span style="margin: 0px; padding: 0px; border: 0px; font-style: inherit; font-variant: inherit; font-stretch: inherit; font-size: inherit; line-height: 22px; font-family: inherit; font-optical-sizing: inherit; font-kerning: inherit; font-feature-settings: inherit; font-variation-settings: inherit; vertical-align: baseline;"> 200 mA |
| 阀门类垊/span> | 常闭 |
| 阀体材?/td> | 不锈钡/td> |
| 密封材质 | FKM |
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