参考价栻/p>面议
型号
一体化气体分配系统品牌
中科艾尔产地
北京样本
暂无生产能力9/p>-
空气速度9/p>-
输送能力:
-输送距离:
-工作原理9/p>其他
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产品介绍
MGDS气体输送系统为一体化气体分配系统技术提供了一种方法,利用平面密封技术,在更紧凑的气体面板上构建气体输送系统。每个表面安装组件遵 SEMI 标准,可根据需求形成不同的配置形式。维护时+/span>仅需在面板上方进行操作,简单方便、/span>
MGDS 系列配套专用的减压器、隔膜阀、单项阀、底座及零部件、/span>
主要部件材料
MGDS底座系列 316L /316L(VIM+VAR(/span>
MHD系列 316L/316L(VIM+VAR?Ni-Co alloy
MPD系列 316L/316L(VIM+VAR?Ni-Co alloy
MCV系列 316L/316L(VIM+VAR?Ni-Co alloy+FFKM
工作条件
工作压力0 150psi
外漏?nbsp; 1×10-10Pa.m3/sec.He
工作温度 -10 60ℂ/span>
内表面粗糙度 Ra 0.13μm
产品特点
利用平面密封技术,在更紧凑的气体面板上构建气体输送系绞/span>
暂无数据