出口直径（mm）：
-进口直径（mm）：
-泵轴位置９/p>其他
驱动方式９/p>其他
输送物料：
-连接方式９/p>其他
材质９/p>其他
口径９/p>-
压力９/p>150psig
设计标准９/p>-
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产品介绍
MGDS 隔膜阀，膜片式硬密封结构，超低漏率；适用于超高纯度气体，半导体用（毒、腐）气体，满足一体化气体分配系统的使用、/p>
主要部件材料
阀?nbsp; 316L /316L（VIM+VAR?nbsp;
膜片 Ni-Co alloy /UNS R30003
密封?nbsp; PCTFE
工作条件
工作压力 150psig
爆破压力 450psig
流量系数 0.1/0.3HF
工作温度 -10 80ℂ/p>
内漏?nbsp; 1×10-10Pa.m3 /sec.He
外漏?nbsp; 1×10-10Pa.m3 /sec.He
内表面粗糙度 Ra 0.1μm
产品特点
适用于一体化气路分配系统
每台阀门进行单独氦质谱泄漏测试
超长使用寿命
暂无数据
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工商已核宝/p>
