压电变频能量转换器：
-超声功率９/p>-
处理容量（L）：
-温度范围９/p>-
定时器范围：
-适用物料９/p>-
功率（kw）：
-重量（kg）：
-规格外形（长*?高）９/p>-
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1、用于硅、碳化硅、氮化镓等半导体材料的单片腐蚀、清洗、刷洗工艺、/p>
2、机台可实现多尺寸兼?4&6寷6&8寷8&12?、/p>
3、工艺腔体经过优化设计，高性能FFU,配合可调节高度的CUP,形成一个稳定强度的downflow，严格控制wafer表面工艺区域的动态环境、/p>
4、可以实现药???有机)的排废分离，无药液的交叉污染、/p>
5、可适用衬底及外延清洗、PRstrip、Oxideremoval等工艺、/p>
6、支 GEM/SECS 协议，支持MES 系统联机、/p>
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