看了阵列式微波源等离子模块ALAMPS的用户又看了
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技术参?/span>
项目 |
固态源版本 |
磁控管版?/span> |
??髗/span> |
626mm*552mm*380mm |
605mm*595mm*632mm |
输出功率 |
1.0kW×2 |
1.25kW×2 |
输出频率 |
2450MHz±25MHz |
2450MHz±25MHz |
频率误差 |
±50ppm |
±50ppm |
微波泄露 |
?mW/cm2 |
?mW/cm2 |
供电电压 |
AC220V±10% |
AC220V±10% |
供电频率 |
50Hz±2Hz |
50Hz±2Hz |
?出水叢/span> |
1/8宝塔接头 |
DN15 |
冷却方式 |
水冷?/8宝塔接头,水流量?.5L/mi0) |
水冷?/8宝塔接头,水流量?.5L/min) |
控制接口 |
RS485通信协议 |
远程通讯功能 |
工艺气体 |
Ar、O2、H2、CF4筈/span> |
Ar、O2、H2、CF4筈/span> |
等离子处理面?/span> |
0.19m2 |
0.15m2 |
暂无数据