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微波等离子模坖/span>品牌
奋羽电子产地
四川样本
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BPS 1.25 技术参?/span>
项目 |
固态源版本 |
磁控管版?/span> |
??髗/span> (辐射模块) |
490mm*390mm*128mm |
490mm*390mm*128mm |
腔体体积 |
106L |
106L |
输出功率 |
1.0kW |
1.25kW |
输出频率 |
2450MHz±25MHz |
2450MHz±25MHz |
频率误差 |
±50ppm |
±50ppm |
微波泄露 |
?mW/cm2 |
?mW/cm2 |
供电电压 |
AC380V±10% |
AC380V±10% |
供电频率 |
50Hz±2Hz |
50Hz±2Hz |
?出水叢/span> |
1/8宝塔接头 |
DN15 |
冷却方式 |
电源: 水冷?/8宝塔接头，水流量?.5L/min，进水温度小于环境温度时，两者温度差?0°C（/span> 辐射模块: 可选水?风冷 |
电源: 水冷?/8宝塔接头，水流量?.5L/min，进水温度小于环境温度时，两者温度差?0°C（/span> 辐射模块: 可选水?风冷 |
控制接口 |
RS485通信协议 |
具备本地触摸屏控制及远程通讯功能，MODBUS RTU 标准通讯协议?600,N,8,1 |
工艺气体 |
Ar、O2、H2、CF4筈/span> |
Ar、O2、H2、CF4筈/span> |
BPS 3.0技术参?/span>
项目 |
固态源版本 |
磁控管版?/span> |
??髗/span> (辐射模块) |
490mm*390mm*128mm |
490mm*390mm*128mm |
腔体体积 |
106L |
106L |
输出功率 |
3kW |
3kW |
输出频率 |
2450MHz±25MHz |
2450MHz±25MHz |
频率误差 |
±50ppm |
±50ppm |
微波泄露 |
?mW/cm2 |
?mW/cm2 |
供电电压 |
AC380V±10% |
AC380V±10% |
供电频率 |
50Hz±2Hz |
50Hz±2Hz |
?出水叢/span> |
1/8宝塔接头 |
DN15 |
冷却方式 |
电源: 水冷?/8宝塔接头，水流量?.5L/min，进水温度小于环境温度时，两者温度差?0°C（/span> 辐射模块: 水冷 |
电源: 水冷?/8宝塔接头，水流量?.5L/min，进水温度小于环境温度时，两者温度差?0°C（/span> 辐射模块: 水冷 |
控制接口 |
RS485通信协议 |
具备本地触摸屏控制及远程通讯功能，MODBUS RTU 标准通讯协议?600,N,8,1 |
工艺气体 |
Ar、O2、H2、CF4筈/span> |
Ar、O2、H2、CF4筈/span> |
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移动?/p>
工商已核宝/p>
