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型号：IBSV-1030
特点９/span>
a)基板垂直放置，水平监控；
b)转靶左右可调，保证靶面中心和离子?*距离：/span>
c)基板?2吋? ;
d)靶材：两靶或三靶可更换；
e)多光路监控、/span>
f)工件夹具?2吊/span>
工艺参数９/span>
1）真空系绞/span>
a)极限真空度：4.0×10-5Pa
b)抽至10Pa所用时?nbsp;10 Pa：≦ 10 分钟
c)漏率?.0×10-5Pa m3/se
型号：IBSV-1030
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d)靶材：两靶或三靶可更换；
e)多光路监控、/span>
f)工件夹具?2吊/span>
工艺参数９/span>
1）真空系绞/span>
a)极限真空度：4.0×10-5Pa
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