看了离子镀膜设备的用户又看亅/p>
虚拟号将 180 秒后失效
使用微信扫码拨号
型号:IBSV-1030 特点:a)基板垂直放置,水平监控;b)转靶左右可调,保证靶面中心和离子?*距离;c)基板?2吋? ;d)靶材:两靶或三靶可更换;e)多光路监控。f)工件夹具?2吋工艺参数:1)真空系统a)极限真空度:4.0×10-5Pa b)抽至10Pa所用时 10 Pa:≦ 10 分钟c)漏率?.0×10-5Pa m3/s 2)控制精度a)靶材旋转?.005°b)工件旋转: <1000RPMc)编码器Encode: 12000lines;480000Counts/revd)膜厚修正板:0.005°e)挡板: position switch3)光学监控系统OMSa) 波长范围?80nm?650nmb) 光源稳定 :白光< 0.1%,激?lt; 0.02%c) 波长分辨玆 白光0.2nm,激?.1nmd) 波长准确? 白光0.2nm ,激?.1nm
暂无数据