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型号
F300-DPW品牌
昂坤视觉产地
北京样本
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l 具备AOI 、OCR等功能；兼容4 inch? inch晶圆
l 自研光学镜头 FOV 15.6mm
l *小缺陷检测能力：0.3μm
l 缺陷检出率 98%
l 缺陷重复 > 95%
l 镭刻码OCR识别 99.9%（选配（/p>
l 4 inch产能 100?小时
l 6 inch产能 60?小时
l 具备12个分规料盒（Cassette（/p>
l 具备非接触Aligner功能
l 具备晶圆分级功能
l 具备输出检测报表和缺陷分布图功胼/p>
l 具备缺陷分类功能，可识别缺陷类别
l 支持SEMI自动化标准SECS/GEM通讯接口
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