参考价栻/p>面议
型号
铝腐蚀清洗朹/span>品牌
山东联盛产地
山东样本
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1、机台采用进口劳士领板材,长期可工作在酸腐蚀环境,坚固耐用,双层防 、/p>
2、采 HF+HNO3/H3P04+HNO3等工艺对硅片表面腐蚀清洗的工艺设备,可清?“,5”,6“硅片、/p>
3、可设计手动全自动运行设计,全自动运行方式采用两只独立机械臂运行,可上下提动、/p>
4、清洗能力:4~6寸圆片,25??扸/p>
5、各工艺槽温度可控,独立控制、/p>
6、各工艺槽模组化设计,腐蚀槽、纯水冲洗槽放置在一个统一的承漏底盘中。腐蚀槽设计底部排风,降低排风量、/p>
7、工艺槽可设计提动动作,清洗更快更彻底、/p>
8、控制部分采用进口品牌PLC 和HM :/p>
9、机台前部配备有PTFE纯水枪和PTFE氮气枪各1只置于右侧、/p>
1、机台采用进口劳士领板材,长期可工作在酸腐蚀环境,坚固耐用,双层防 、/p>
2、采 HF+HNO3/H3P04+HNO3等工艺对硅片表面腐蚀清洗的工艺设备,可清?“,5”,6“硅片、/p>
3、可设计手动全自动运行设计,全自动运行方式采用两只独立机械臂运行,可上下提动、/p>
4、清洗能力:4~6寸圆片,25??扸/p>
5、各工艺槽温度可控,独立控制、/p>
6、各工艺槽模组化设计,腐蚀槽、纯水冲洗槽放置在一个统一的承漏底盘中。腐蚀槽设计底部排风,降低排风量、/p>
7、工艺槽可设计提动动作,清洗更快更彻底、/p>
8、控制部分采用进口品牌PLC 和HM :/p>
9、机台前部配备有PTFE纯水枪和PTFE氮气枪各1只置于右侧、/p>
10、设备设计标准按半导体行业标准(SEMI-S2-93)执行,ISO9001质量管理体系进行规范和保证、/p>
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