主要技术指标：

内腔直径（mm）：300�?00�?50�?50�?50�?50、定刵�/p>

真空抽率：从大气状态到4×10-3Pa，需要时间≤15min

镀膜室（清洁、空载）极限压力：≤2×10-4 Pa：�/p>

保真空（达到极限压力，关闭高阀�?小时）：� 9×10-2 Pa

膜厚均匀性：≤�?%：�/p>

镀膜重复性：≤�?%：�/p>

控制程序９�/p>

全自动一键式操作，保证镀膜重复性、�/p>

全自动程序有可编程模式和固定模式两种可供您选择、�/p>

程序设有三级权限，便于管理及维护、�/p>

所有数据实时记录，可还原成历史曲线，便于追溯和排查、�/p>

关键部件根据实际使用情况，有维护时间显示，即节约成本，又便于维护、�/p>