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型号
大面积平板镀膜设备JCPF3500品牌
北京泰科诹/span>产地
北京样本
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设备名称：大面积平板镀膜设夆/p>
设备型号：JCPF1600~4500
真空系统：国产或进口分子 / 低温 + 罗茨 + 机械泵高真空系统
极限真空：优 2.0×10-4Pa
抽速：从大气到 3.3×10-3Pa 30min 升压率关 12 小时后真空度 10Pa
工件架尺寸：可根据尺寸定刵/p>
工件烘烤温度 ：室温～ 300℃，可调可控（PID 控温（/p>
配置：矩形磁控靶、弧源、离子源、偏压可逈/p>
系统：全自动控制系统，个性化 Tech-Coating 控制菜单，安全保护系绞/p>
暂无数据
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