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设备名称:热 CVD 金刚石膜沉积设备
设备型号:HF700
真空腔室结构:立式前开门结构,后置抽气系统,双层水冶/p>
真空腔室尺寸:?00mmxH700mm
真空系统:高真空泵组系统
基片台尺寸:350mm²×350mm² 方形基片台(旋转、升降可选)
衬底温度?00 1100ℂ/p>
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性价毓/p>
红外气体传感 Gasboard-2060
XRD系列晶向定位
CVD 真空化学气相沉积设备
红外快速退火炉系统
自动划片朹/p>